مقدمه

بالاتر) از آنها استفاده می شود.[۱] اتمسفر درون تقویت کننده هاي
اولین تقویت کننده مایکرویوي در سال ۱۹۳۰ میلادي در مایکرویويشدیداً وابسته به فشارهاي پایین و در محدوده خلأ
انگلیس ساخته و سپس در ساخت و توسعه سیستم هاي راداري فرابالا می باشد. کوچکترین افزایش فشار در این محیط باعث
در خلال جنگ جهانی دوم مورد استفاده قرار گرفت. در سالهاي کارایی ضعیف این وسایل می گردد.
اخیر قطعات نیمه هادي به طور فزاینده اي جایگاه تقویت کننده پس از طی مراحل مختلف و رسیدن به خلأ در محدوده ۱۰-۷
هاي مایکرویوي را پر نموده و مزایاي متعددي نیز ولیدارند، میلی بار، پمپ یونی سیستم خلأ روشن می شود. اساس کار این
هنوز هم براي تولید توانهاي بسیار بالا ۱۰) کیلو وات مگاتا۱۰ پمپهاي یونی بدین نحو است که مولکولهاي گاز به شکل یون
وات) و فرکانسهاي بالاتر از امواج میلی ومتري ۱۰۰) گیگاهرتز

۴۵

درآورده شده و سپس به کمک میدان الکتریکی به سمت الکترودهاي مورد نظر هدایت می شوند و بدین طریق عمل تخلیه گاز از سیستم صورت می گیرد. بر اساس نوع و فرآیند یونیزاسیون، انواع مختلفی از پمپهاي یونی وجود دارد. در صورتی که فرآیند تولید اتمهایی که نقش جاذب را بازي می کنند توسط بمباران یک کاتد با یونهاي مثبت سنگین انجام شود، پمپ را یونی- پراکنی می نامند. تغییرات موجود پس از روشن کردن این پمپ مشهود بوده و به طور قابل ملاحظه اي باعث افزایش فشار درون تقویت کننده می گردد.

روش آزمایش

در این آزمایش روش کار بدین صورت است که ابتدا تقویت کننده در کوره مناسب نصب شده و به سیستم خلأ وصل می شود. براي رسیدن به فشارهاي پایین باید ضمن خلأ کردن محیط تقویت کننده، آن را حرارت داد تا گازهاي اضافی از قطعات خارج و رسیدن به فشار پایین آسان تر شود. به منظور جلوگیري از اکسید شدگی قطعات بیرونی تقویت کننده، اتمسفر بیرونی تقویت کننده و درون کوره نیز تا محدوده ۱۰-۳ میلی بار و توسط یک پمپ روتاري، خلأ می شود. این خلأ براي حرارت دهی مناسب بوده و نیازي به پمپ دیگري جهت کاهش فضاي درونی کوره نیست.

پمپ روتاري سیستم خلأ تقویت کننده،پمپ به عنوان اولین روشن شده و تا محدوده ۱۰-۳ میلی بار فشار را پایین می آورد. سپس پمپ توربو تا محدوده ۱۰-۷ میلی بار باعث کاهش فشار می شود. درب کوره بسته شده و با توجه به نوع تقویت کننده فرآیند پخت آغاز و به دماي مورد نظر رساندهطی می شود. پس از مراحل مختلف، در فشارهاي پایین تر از ۱۰-۷ میلی بار، پمپ یونی سیستم روشن می شود. این پمپ از نوع اتم پراکنی است. شکل۱ شماتیکی از این پمپ را نشان می دهد. چنانچه مشاهده می شود، این پمپ شامل یک ظرف از فولاد یا استیلکهزنگ نزن است محتواي آن یک آند با ساختمانی شبیه شانه عسل می باشد. در مقابل هر سمت باز آند یک صفحه تیتانیومی که به عنوان کاتد