چکیده:

در این مقاله پس از معرفی نحوه کار پمپ خلأ جت بخار به بررسی عوامل مؤثر در بهینهسازي عملکرد آن پرداخته شده، و مراحل ساخت و تولید یک پمپ جت بخار با ظرفیت ۶۰۰ لیتر بر ثانیه توضیح داده شده است. پمپ ساخته شده در یک سیستم لایهنشانی تحت خلأ

بالا نصب و آزمایش گردیده و نتایج عملکرد آن در مقایسه با یک نمونه استاندارد مورد ارزیابی قرار گرفته است. نتایج حاصله نشان میدهد که پمپ ساخته شده قابلیت ایجاد خلأ بالاتري را در زمانی کوتاهتر (در مقایسه با نمونه خارجی) دارا میباشد.

۱ بررسی عملکرد پمپ جت بخار
پمپ هاي جت بخار یکی از اجزاء اصلی سیستمهاي خلاء بالا میباشند که به عنوان پمپ ثانویه براي دستیابی به خلأهاي تا -۸ mbar

۱۰ (و بالاتر) به طور وسیع مورد استفاده قرار میگیرند. علیرغم وجود پمپهاي یونی و توربومولکولی، پمپهاي جت بخار معمولترین پمپ مورد استفاده براي ایجاد خلأهاي بالا محسوب میشوند. این امر به دلایلی از جمله نداشتن قسمت مکانیکی متحرك، سرعت پمپی تقریبا ثابت براي همه گازها، تجهیزات کم، و هزینه کم ساخت، تعمیر، و نگهداري میباشد .[۱] در شکل۱ شماي کلی یک پمپ جت بخار نشانداده شده است.

ورودي پمپ (فشار پایین)

لوله هاي آب سرد

اولین طبقه تراکم گاز
خروجی پمپ

موانع دومین طبقه تراکم گاز
شکل.۱ نماي برشخورده ساختار پمپ جتبخار [۳]

سومین طبقه تراکم گاز

چهارمین طبقه تراکم گاز

سیال پمپ
گرماده الکتریکی

شکل.۱ نماي برشخورده ساختار پمپ جتبخار [۳]